分子泵相关论文
中国原子能科学研究院目前正在研制一台230 MeV超导回旋加速器,该回旋加速器未来是安装于医院应用于质子治疗,采用了非常紧凑型的......
针对涡轮分子泵动叶轮和芯轴过盈装配问题,采用压力装配方法进行装配并对过程进行力学分析,建立了芯轴压装力和压入位移之间的函数......
为了解决一些应用领域对分子泵性能评价与量值溯源的需求,研制出高精度、宽量程分子泵性能参数测试装置.分子泵性能参数主要包括抽......
本文介绍一种新型的荧光灯排气机——自动长排机，它具有与园排机相近的生产速率，却能有更高的系统真空度与更充分的电子粉分解时间，因......
分子泵是对专用设备进行抽空,保持内部压力小于一定量级,以减小专用设备能耗的重要装置.文章针对不同型号专用设备进行分子泵的设......
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传......
为了造成真空的环境来为生产服務,人们曾做了大量的試驗研究工作,制成获得低真空、高真空以及超高真空的各种工具——抽气机、真......
以双壁碳纳米管作为基本单元设计了一种新型纳米机械水泵,其内管固定作为水分子通道,外管做活塞式轴向运动.分子动力学计算表明,水......
分析仪器市场受医药、环保、机场安保等领域新挑战的驱动,开发出针对气体、爆炸物和蛋白质等物质的检测方法和仪器。如果没有真空......
热沉是大型空间环境模拟器的重要组成部分，其密封性能直接影响到模拟器所模拟的冷、黑真空环境的好坏。因此，对它的漏率要求较高。本......
研制出满足 Si1 - x Gex 异质结薄膜材料生长工艺的高真空化学气相外延炉。介绍了 Si1 - x Gex 异质结薄膜材料的生长工艺 ,详述了......
分子泵是高真空系统的核心部件,通过对SB6键合机真空系统和分子泵特性的分析,总结讨论了3个可能导致分子泵损坏的键合工艺过程,最......
分子泵抽速性能对于分子泵基础理论的研究和发展、性能改进以及配套的真空系统设计方法完善都极为重要,快速、准确、有效地对分子......
介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面的决定性作用,针对Lens的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法,以达......
一、前言清洁无油的真空系统对电子束曝光机的实际性能很重要。例如,碳氢化合物沉积在镜筒的表面上能引起电荷的积累、聚焦场的畸......
日前,包头稀土研究院一实用新型专利“高频无氧(悬浮)冶炼活性金属合金装置”通过国家知识产权局审核成功授权。本实用新型专利是......
一、概 述 分子泵是一种用机械手段获得超高真空的新型设备。在从10-8～10-10托较宽广的工作范围内具有恒定的抽速,并能抽除包括惰性......
据日刊《低温工学》1980年第6期报导,美国CTI公司研制成功一种轻便、小型的低温泵。这家杂志称它为真空排气装置的革命。 特点: 1......
作者简要地介绍了轴流分子泵的工作原理。接着描述了在大油速轴流分子泵上得到的一些结果。该泵的真空度直到１×１０乇时仍有９０００升／秒量级的......
关于轴流分子系的工作机理，我们在第一报和第二报里已经谈过了。基于这两报的结果，这里我们提出了确定叶列排列的方法，设计和试制了一......
引言 涡轮分子泵作为商品,自一九五八年问世以来经过二十余年的发展,已经成为一种广泛应用的“清洁”的超高真空获得设备。目前,国......
详细介绍了分子泵加锆铝吸气泵真空系统试验过程。对锆铝吸气系抽气性能的测定进行了说尽的说明和讨论。根据实验成果对分子泵加锆......
超高真空技术是从1950年BA型电离真空计的发明以后迅速发展起来的。现代科学技术的发展对超高真空技术是一个很大的促进。本文将......
快关闭阀的漏率为０．３５托·升／秒。本文介绍了三种测量这一漏率的方法；１．二室动态平衡法；２．三室动态平衡法；３．定容升压法。 比较了它们的优缺点，分......
1986年10月5日至8日由中国真空学会真空物理专业委员会、真空获得技术专业委员会在沈共同举办了现代涡轮分子泵和低温泵研讨会。在......
原第一机械工业部下达的新产品研制任务──F—3500涡轮分子泵,由承担研制单位机械工业部沈阳真空技术研究所经过三年多的努力现已......
一、前言 能量为2兆电子伏特、束流强度为200微安的JJ-2型电子静电加速器是我所元老产品,其诞生于六十年代初期,曾荣获国家新产品......
低温泵是一种捕集型真空设备，它与分子泵、扩散泵不同，它所抽走的气体不是被立即排出泵外，而是贮存在泵内，所以低温泵是一种贮存式真空......
本文论述了涡轮分子泵压缩级叶轮对分子泵抽速的影响,并导出了它们之间的解析关系式。然后,论证了泵的抽速与被抽气体分子量关系中......
本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象，并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的......
由日本真空工业会和日本真空协会共同主办的1990年日本第12届真空产业展于9月19至21日在东京举行。参加此届展出的会社有125家,占......
上海市真空学会第五届学术年会于1994年12月12～15日在杭州举行。参加会议的有国内外各企业、高等院校、科研院所45个单位的代表共77......
本文重点介绍了复合式真空标准装置在使用中应注意的问题，对于如何正确使用标准装置，从而保证标准的精度，延长标准的使用寿命具有一定......
设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积......
立足于国产材料、真空设备和技术，设计、建立了一套用于铯原子磁光阱的超高真空系统。整个系统结构紧凑、性能稳定、操作方便，其真空......
经过认真的审选 ,下列三位同志被授予 2 0 0 0年度中国真空学会科技成就奖。张涤新 (兰州物理研究所 ) 由于他在真空校准系统......
我们同最近发表的一些文献所持的观点不一样。本文论证了对轻气体的压缩比并不取决于涡轮叶片的几何形状。在这些文献中对不同抽......
1.引言 为阐明轴流分子泵的抽气机理,笔者不久前曾对轴流叶轮在分子流区域内的抽气特性进行了研究(1)(2)。 在用油扩散泵作前级泵......
1、引言 近年来,随着科学技术的不断发展,真空技术的重要性与日俱增,而且开始要求比以往更高、更清洁的真空环境。所以自扩散泵问......
