静态累积比较相关论文
随着科学技术的发展,对精确测量极小漏率测量和校准的要求越来越高.极小漏率的真空标准漏孔主要为薄膜渗氦型漏孔,其作为极小漏率的......
静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了......