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静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原理、校准过程、校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素。
静态累积比较法真空漏孔校准方法研究
【摘 要】
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静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所;
【出 处】
：
真空
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61471184)
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