用苯作气源，采用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积方法制备了非晶含氢碳膜，并在该系统上用氧等离子体对这些碳膜进行了刻蚀性能......

非晶含氢碳膜(amorphous hydrogenated carbon a-C:H films)在力学、热学、电学、化学、光学等方面具有优异的性能,被广泛应用于诸......

用射频等离子体增强化学气相沉积法在钛合金表面制备了非晶含氢碳(a-C∶H)薄膜,利用原子力显微镜、纳米力学探针、划痕仪以及滑动......

利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅基底上制备了非晶含氢碳薄膜;采用Raman光谱仪、红外光谱仪和原子力显微镜等研究了碳膜......