含氢非晶碳(a-C:H)薄膜主要由SP3C、SP2C和H 3种'元素'组成,在它们的三元相图中,a-C:H薄膜具有特定的组成区域.由于IR分析......

利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲......