非晶碳氢薄膜相关论文
在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法（PECVD）在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜。采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×......
以反式－２－丁烯为主工作气体，采用低压等离子体化学气相沉积法制备ＣｘＨ１－ｘ薄膜，研究了在不同的Ｈ２与反式２－丁烯流量比下制备的ＣｘＨ１－ｘ薄膜的傅里叶变换红外光......
非晶碳氢薄膜(a-C:H film)是一类具有亚稳态非晶结构的薄膜材料,具有许多优异特性,如极好的力学性能、光学透过性、生物相容性、极......
含氢非晶碳(a-C:H)薄膜主要由SP3C、SP2C和H 3种'元素'组成,在它们的三元相图中,a-C:H薄膜具有特定的组成区域.由于IR分析......
利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲......
