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利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度，两种方法测得的厚度平均差别为5．5％，一致性较好。利用X射线反射谱的临界角计算所得的7个样品的密度差别较小，在8％之内。
X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度
【摘 要】
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利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度，两种方
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2007年8期
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