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饱和表面浓度相关论文

高剂量注入中离子溅射的影响

在离子注入材料改性的研究过程中(金属、绝缘材料和光学材料等),在许多场合下,要求注入的元素(如Fe中注入N、Y、Ph和Sn等)在靶子......

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材料改性饱和表面浓度离子注入中离子高剂量注入离子溅射杂质分布原子数注入能量光学材料

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