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                                 介绍了一种基于电阻率高达1000Ω·cm的硅衬底的锗硅异质结晶体管的研制。首先根据衬底寄生参数模型分析了衬底对器件高频性能......
                                
                                
                            
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                                 针对于高阻衬底、高阻外延工艺与常规CMOS工艺的兼容性进行研究,主要讨论了CMOS外延工艺中确定有效外延层厚度的实验过程。......
                                
                                
                            
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