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有效外延厚度相关论文
高阻衬底CMOS外延工艺研究
针对于高阻衬底、高阻外延工艺与常规CMOS工艺的兼容性进行研究,主要讨论了CMOS外延工艺中确定有效外延层厚度的实验过程。......
期刊
有效外延厚度
隔离
高阻衬底
Effective epitaxial thickness Isolation High resistance substrate
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