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高阻靶材相关论文

硅含量对真空熔炼电阻靶材和电阻薄膜性能的影响

采用真空熔炼方法研制新型溅射用高阻靶材,并试验靶材含硅量对溅射电阻薄膜性能的影响。......

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真空熔炼溅射高阻靶材薄膜电阻

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