193nm光学薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

193nm光学薄膜相关论文

非理想参数下193nm光学薄膜的设计

193nm光学薄膜是 10 0nm步进扫描光刻机系统中主要用到的光学薄膜。分析了膜料光学常数的不确定性、高折射率膜材料消光系数、水吸......

期刊

薄膜技术 193nm光学薄膜光刻机消光系数水吸收表面粗糙度

193nm光学薄膜激光量热吸收测试及系统校正

高精度测量薄膜的吸收系数对于激光光学薄膜研究具有重大意义，而激光量热计是一种可靠灵敏的光学器件吸收测量工具。本文介绍了激光......

期刊

193nm光学薄膜吸收系数激光量热计系统校正

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