3个支柱点的晶舟相关硕士博士期刊学术论文

二氧化硅工艺在半导体制造工艺中有着举足轻重的作用。晶圆在工艺进行前需要在表面生成一层氧化层作为衬底和缓冲层，来满足后续工艺......