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5O7薄膜相关论文
Ar/O2对磁控溅射法制备Bi1.5MgNb1.5O7薄膜结构与性能的影响
采用射频磁控溅射法在不同Ar/O2流速比下制备铌镁酸铋(Bi1.5MgNb1.5O7,BMN)薄膜。通过X线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和阻抗分析仪分......
期刊
BI1
5MgNb1
5O7薄膜
磁控溅射
介电性能
Ar
O2流速比
调谐率
Bi1.5MgNb1.5O7 film
magnetron sputterin
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