ABS薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本文提出一种以丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)薄膜作为各向异性腐蚀溶液的掩模的薄膜保护方法.ABS胶以旋涂法涂布在硅片表面,然后经过......