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MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究
从固态组分控制方面,对AlGaAs 的常压金属有机物气相外延(AP-MOVPE)生长技术进行了研究.首先,在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下,经理论推导,给......
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AGaAs
金属有机物气相外延
Al的分配系数
动力学
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