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Al+N相关论文

铝氮共掺制备p型ZnO薄膜的电学性能研究

本文通过直流反应磁控溅射,采用Al+N共掺的方法在N2O-O2气氛下制备p型ZnO薄膜.结果表明,衬底温度为500 ℃时共掺所得p型ZnO的载流......

期刊

电学性能 ZnO薄膜掺氮迁移率载流子浓度衬底温度直流反应磁控溅射个数空穴数量级 ZnO films p-type conduction Al+N

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