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Al-Ta合金薄膜相关论文
纯铝靶中分别添加Fe、Ti、Ta对溅射薄膜电阻率和抗小丘生长性能的影响
随着薄膜晶体管型液晶显示器(TFT-LCD)向大型化、高清晰化发民,对铝合金电极布线膜的主要性能要求是低电阻率和良好的抗小丘生长性......
学位
TFT-LCD
Al-Fe合金薄膜
Al-Ta合金薄膜
电阻率
小丘生长
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