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C-TaC复相涂层相关论文
化学气相沉积C-TaC涂层的结构及其摩擦性能
利用Ta Cl5-C3H6-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD),在高纯石墨表面制备了不同炭含量的C-Ta C复相涂层。研究了室温条件下C-Ta C......
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C-TaC复相涂层
化学气相沉积
微观结构
摩擦性能
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