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CD测量相关论文
纳米尺度线宽的测量与Nano1国际关键比对
现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法......
期刊
纳米计量
线宽
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CD测量
国际关键比对
集成电路
极限尺寸
数据存储器
微机电系统
显微镜
nanometrology linewidth comp
EDXRF分析稻米中重金属Cd的最佳探测装置研究
本论文选题来源于国家863计划“放射性矿产探测与开发技术”主题项目课题——高精度能谱探测仪器研发(课题编号:2012AA061803)。随......
学位
EDXRF
稻米
最佳探测条件
蒙特卡罗模拟
Cd测量
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