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靶/基距对CrTiA1N薄膜性能影响的研究
利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13热作模具钢基体上沉积了CrTiA1N薄膜.采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪......
期刊
靶/基距
CrTiA1N
显微硬度
膜/基结合力
摩擦磨损性能
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