C轴倾斜相关论文
采用射频反应磁控溅射方法，通过旋转转盘，使衬底与靶材水平偏离一定角度，制备了C轴择优取向的倾斜AlN薄膜。用XRD分析了不同偏转角度......
采用射频磁控反应溅射,利用两步气压法在Pt电极上制备C轴倾斜的A1N压电薄膜.用X射线衍射仪（XRD）分析两步气压下制备的A1N薄膜的择优......
