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采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜
采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量......
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高性能衍射微透镜
衍射积分算法
单步光刻
湿法腐蚀工艺
DVD物镜
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