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采用发射光谱和朗缪尔探针诊断低温低压氢等离子体
使用发射光谱诊断法和Langmuir探针诊断法,测量了螺旋波激发等离子体化学气相沉积装置中产生的氢等离子体的发射光谱和电流-电压曲......
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等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
发射光谱
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Druyvestey方法
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