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用EA—CVD方法制备的大尺寸金刚石厚膜的品质和膜厚均匀性的研究
根据金刚石厚膜的实际应用要求,建立了EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法,制备出直径为80 mm,膜厚为1 mm......
期刊
EA—CVD
金刚石厚膜
品质和膜厚均匀性
EA-CVD Diamond thick film Uniformity of quality and thickn
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