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EUV光源的发射与吸收性质相关论文
极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究进展
现代技术的飞速发展需要集成电路不断小型化,因而开发下一代光刻光源以满足小型化的要求成为当前的一项紧迫任务。目前工业界确定的......
期刊
极端远紫外光刻(EUVL)
EUV光源
激光
气体放电产生的等离子体EUV光源
EUV光源的发射与吸收性质
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