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两种没气源制备的高氢含量a—Si1—xCx:H薄膜的微结构及其热稳定性研究
通过电子自旋共振实验,红外光谱和透射-反射谱等手段,系统地研究了CH4+SiH4和C2H2+SiH4两种不同气源制备的具有高氢含量的a-Si1-xCx:H薄......
期刊
电子自旋共振
红外光谱
透射-反射谱
退火
制备
微结构
气源
甲烷
硅烷
乙烯
碳化硅薄膜
热稳定性
aSi1xCx∶H
Electronspinresona
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