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FN注入相关论文

MOS器件超薄氧化层中应力感生陷阱特性的研究

该文研究了MOS器件在高场应力下的退化和应力作用后的驰豫行为,以及应力产生的边缘陷阱性质.......

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可靠性陷阱特性 FN注入解陷俘获 MOS器件薄氧化物

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