使用直流磁控溅射方法,Ar/N2作为放电气体,在玻璃衬底上沉积FexN薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、掠入射小角X射线散射(GISAXS)、X......

使用直流磁控溅射方法，Ar/N2作为放电气体，在玻璃衬底上沉积FexN薄膜，利用X射线光电子能谱（XPS），掠入射小角X射线散射（GISAXS），X射线衍射（XRD......