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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体.通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了......
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等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
Balmer系
Fulcher带
Plasma HWP-CVD Balmer lines Fulcher band
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