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GaN刻蚀表面上GaCl的滞留研究
近几年来,GaN以代表的新一代Ⅲ-Ⅵ族氮化物半导体材料发展迅猛.GaN具有禁带宽度大,热稳定性及化学稳定性好,电子极限漂移速度大等......
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干法刻蚀
GaCl
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