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UHV/CVD外延生长锗硅碳三元合金中碳的应变缓解效应
碳的加入为Si-Ge系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性。处于替代位置的碳可以缓解SiGe合金的应变,同时调节其能带,报道了用UHV/CVD生长的掺碳达......
期刊
锗硅碳合金
碳
外延生长
应变缓解效应
UHV/CVD
GeSiC
Strain Compensation
Epitaxy
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