HfOSiO高反射膜相关硕士博士期刊学术论文

本文研究了HfO/SiO高反射膜在YAG三倍频激光作用下的损伤机理,两种纯度不同的HfO被用于反射膜的制备,其材料的杂质元素含量由辉光......