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IC(离子色谱)相关论文
IC和Preconcentrator-GC-MS在半导体缺陷研究方面的应用
随着当前半导体技术的迅猛发展,芯片线宽已经进入纳米级。与此同时,各种各样的缺陷也层出不穷。结晶缺陷(crystal defect)和弹坑缺陷(cr......
学位
AMC(空气分子污染)
VOC(挥发性有机化合物)
crystal defect
crater defect
IC(离子色谱)
Preconcentrator-
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