ITO(铟锡氧化物)靶材相关硕士博士期刊学术论文

简要介绍了铟（In）的用途及国内铟产业的现状。重点介绍了国内外ITO（铟锡氧化物）靶材的研究现状、主要制备方法（热等静压法、热压法和烧......