MEMS微加工工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

MEMS微加工工艺相关论文

差分迁移谱(DMS)研究进展

近年来,差分迁移谱(DMS)在生化快速检测领域的应用日益广泛,随着研究的深入,在小型化、提高分辨率方面取得了较大进展,并在质谱预......

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差分迁移谱射频高压非对称场离子迁移谱 MEMS微加工工艺快速预分离

闭锁电热微开关的制备及性能测试

本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采......

期刊

开关性能测试电热驱动机械锁定电热 MEMS微加工工艺悬臂梁最大功耗电阻丝机械锁

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