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MEMS真空封装相关论文
MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述
MEMS器件是机械电子系统未来的发展趋势。许多MEMS器件需要进行真空封装,从最大程度地减少残余气体,且真空封装水平的高低决定了器......
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MEMS真空封装的真空度测量
本文将音叉型石英晶振作为陪片直接封装在MEMS真空封装的壳体中,采用直接数字频率合成器(DDS)作为信号源激励石英晶振,利用相位幅......
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