非蒸散型吸气剂薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

非蒸散型吸气剂薄膜相关论文

MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述

MEMS器件是机械电子系统未来的发展趋势。许多MEMS器件需要进行真空封装,从最大程度地减少残余气体,且真空封装水平的高低决定了器......

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MEMS真空封装非蒸散型吸气剂薄膜吸气机理 TiZrV薄膜磁控溅射 MEMS vacuum packagingnon-evaporable getter

非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展

非蒸散型吸气剂薄膜是超高或极超高真空系统获得和维持真空条件的重要材料,近年来吸气剂广泛应用于MEMS真空封装领域。综述了非蒸......

期刊

非蒸散型吸气剂薄膜 Zr-Co系研究现状应用进展发展趋势

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