MF-PCVD 相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

MF-PCVD相关论文

中频等离子体化学气相沉积法制备ZnO薄膜

ZnO是一种多功能材料，目前处于世界范围的研究热潮中。为了拓展和改善ZnO的应用，采用中频等离子体化学气相沉积法（MF-PCVD）制备了ZnO薄......

期刊

ZNO薄膜中频等离子体化学气相沉积村底温度 ZnO thin film MF-PCVD substrate temperature

中频等离子体气相沉积类金刚石碳膜及其摩擦性能研究

本文用改装的等离子体化学气相沉积系统,采用中频等离子体气相沉积技术沉积了类金刚石碳（DLC）膜。不同的碳氢气源在不同的放电情况下......

学位

DLC膜 MF-PCVD 结构硬度摩擦

看过本文同时还关注