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MFM电容结构相关论文
氧化铪基铁电薄膜的极化稳定性研究
氧化铪基铁电场效应晶体管(Fe FET)型存储器作为下一代非挥发性存储器中的有力竞争者,具备低功耗、高速、高容量、与CMOS工艺兼容等......
学位
HZO
MFM电容结构
极化稳定性
原子层沉积
恒定电压应力
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