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采用SOL-GEL方法分别在Si和含有SiO2的衬底上制备出PZT铁电薄膜,并获得了MFS和MFOS结构。利用MOS结构常用的C-V特性分析方法,对MFS和MFOS结构进行了高频C-V特性测试分析,研究了......
采用SOL-GEL方法分别在Si和含有SiO2的衬底上制备出PZT铁电薄膜,并获得了MFS和MFOS结构.利用MOS结构常用的C-V特性分析方法,对MFS和MFOS结构进行了高频C-V特性测试分析,研究了F/(O)S的......
论述了铁电场效应晶体管(FFET)的基本工作原理,给出了其设计方案.采用SOL-GEL法制备了基本的MFS-FET和MFOS-FET,对其电性能进行了测试分析.测试结果表明:MFOS结构的FFET具有极......