MPCVD金刚石膜沉积技术相关硕士博士期刊学术论文

金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中，高功率微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法因其产生的等离子体密度高，同......