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基于扰动观测器的超精密宏微驱动定位技术研究
随着超精密加工设备与极大规模集成电路制造技术的飞速发展,对定位系统的定位精度、运动速度和加速度的要求也不断提高。传统的驱......
学位
宏微双重驱动系统
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电流过采样
MT测速法
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