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近年来,随着微电子机械系统(Micro-electromechanical System, MEMS)在航天工业,集成电路,电子计算机,生物医药等领域的广泛应用,......

目前,对微型零部件和产品的需求越来越大,这极大地促进了微细加工技术的研究和发展。微细超声加工技术(MUSM)也获得了日益广泛的应......