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基于ECR—PEMOCVD生长的稀磁半导体(Ga,Mn)N的特性
利用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在蓝宝石(α~Al2O3)衬底上生长出Mn含量约为3%的(Ga,Mn)稀磁半导体......
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(Ga
Mn)N
ECR—PEMOCVD
室温铁磁
性
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(Ga
Mn) N ECR-PEMOCVD ferromagnetism at room t
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