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利用离子注入方法,以离子能量为100keV,剂量为3×1016cm-2,室温下往n型Ge(111)单晶衬底注入Mn+离子,注入后的样品分别在400和6......

20世纪,微电子工业迅速崛起。以大规模集成电路为基础；通过电场调控电子的电荷实现了信息的处理和传输。然而传统信息技术却忽略了......