Mo-Ti-Al-N超晶格涂层相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

Mo-Ti-Al-N超晶格涂层相关论文

低转速下多弧离子镀制备的Mo-Ti-Al-N超晶格硬质涂层的微结构及背散射谱分析

目的研究低基片转速对纳米多层膜微结构和性能的影响。方法采用阴极多弧离子镀技术在单晶硅基片上沉积制备了MoTiAlN/MoN/Mo纳米复......

期刊

多弧离子镀纳米多层膜 Mo-Ti-Al-N超晶格涂层微结构调制周期背散射谱 multi-arc ion plating nanomultilayer M

看过本文同时还关注