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Nanofac相关论文

高精度的平面度测量装置“Nanofac”

在使用光学平晶测量小工件的平面度时,如以激光作光源则其分辨率可达0.3μm左右。采用激光干涉方式的测量设备价格非常昂贵,通常......

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平面度测量 Nanofac 大型工件三坐标测量机激光干涉精度评估测量设备测头直线度高精度加工

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