P型双质掺杂相关硕士博士期刊学术论文

阐述了受主杂质在Ｓｉ中的扩散行为，快速晶闸管制造中的Ｐ型区掺杂工艺设计原理，掺杂方法和杂质浓度分布，并给出了该项技术在工艺生产线上应......