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阐述了受主杂质在Ｓｉ中的扩散行为，快速晶闸管制造中的Ｐ型区掺杂工艺设计原理，掺杂方法和杂质浓度分布，并给出了该项技术在工艺生产线上应用结果。通过实验和应用表明，该项技术具有先进性和可行性，为制造快速晶闸管开辟了一条新工艺途径。
一种制造快速晶闸管的P型双质掺杂技术
【摘 要】
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阐述了受主杂质在Ｓｉ中的扩散行为，快速晶闸管制造中的Ｐ型区掺杂工艺设计原理，掺杂方法和杂质浓度分布，并给出了该项技术在工艺生产线上应用结果。通过实验和应用表明，该项技术具有先
【机 构】
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山东师范大学半导体所,山东济宁硅元件厂
【出 处】
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山东师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年4期
【基金项目】
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山东省自然科学基金
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