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PCVD-Ti(CNO)薄膜的制备及性能的研究
研究了Ti(CN)薄膜内氧的作用.研究结果表明,Ti(CN)薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构,薄膜的断口呈致密的纤维状组织.随着反......
期刊
PCVD-Ti
薄膜性能
CNO
显微硬度
柱状晶组织
Ti(CNO)薄膜
气体流量
纤维状组织
反应气体
衍射峰强度
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